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更新時間:2026-01-27
瀏覽次數:242在電子制造與半導體行業,微小缺陷的檢測直接關系到產品良率與可靠性。3D X-RAY無損透視設備通過非破壞性成像技術,可穿透材料表面,對內部結構進行高精度分析,尤其適用于復雜封裝器件的缺陷定位。其核心原理基于X射線與物質相互作用產生的衰減差異,通過探測器捕捉穿透后的射線信號,轉化為數字圖像后進行三維重建,從而揭示內部缺陷的形態與位置。
一、技術原理與核心參數
該設備采用開放管X射線源,電壓范圍25–160KV,管電流0.01–1.0mA,通過調節參數可適配不同密度材料的檢測需求。其管功率64W,標靶功率分10W(標配)與15W(高配)兩檔,高功率靶技術可提升射線強度,減少成像噪聲。設備配備310mm×310mm的測量范圍,支持2000倍幾何放大,結合高動態圖像處理算法,可實現<0.75μm的最小缺陷檢測能力,滿足SMT、半導體、IGBT、晶圓等高精度場景的需求。
二、典型應用場景與檢測對象
在電子制造領域,該設備可檢測PCB板的焊點虛焊、橋接,以及PTH(通孔)內部的裂紋;在半導體行業,能分析晶圓切割損傷、TSV(硅通孔)的填充缺陷;對于MEMS/MOEMS器件,可識別微機械結構的形變或粘連;在IGBT模塊檢測中,可定位鍵合線脫落或芯片分層等失效模式。其非接觸式檢測方式避免了傳統破壞性取樣的局限性,尤其適用于高價值樣品的重復檢測。
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